Komponen Vakum Suhu Tinggi
Rawatan haba terutamanya merangkumi proses pengoksidaan, resapan dan penyepuhlindapan.Pengoksidaan ialah proses tambahan di mana wafer silikon diletakkan di dalam relau suhu tinggi dan oksigen ditambah untuk bertindak balas dengannya untuk membentuk silika pada permukaan wafer.Resapan adalah untuk memindahkan bahan dari kawasan kepekatan tinggi ke kawasan kepekatan rendah melalui pergerakan haba molekul, dan proses resapan boleh digunakan untuk membius bahan doping tertentu dalam substrat silikon, dengan itu mengubah kekonduksian semikonduktor.
